[发明专利]一种高数值孔径曲面微透镜阵列制备方法

摘要

本发明公开了一种高数值孔径曲面微透镜阵列的制备方法。包括如下步骤：采用液滴微喷射法制备甘油水溶液微液滴阵列；采用模塑法制备PDMS平面微凹透镜阵列负模；制备PDMS半圆球凸凹模；将PDMS平面微凹透镜阵列负模与PDMS半圆球凹模粘结在一起，制得PDMS曲面微凹透镜阵列负模，然后向PDMS曲面微凹透镜负模中倒入NOA1625胶水，将PDMS半圆球凸模与PDMS半圆球凹槽合模，固化处理后，将PDMS半圆球凸模和固化的NOA1625胶水从PDMS半圆球凹槽中揭下，即制得曲面微透镜阵列。本发明所制备的曲面微透镜的曲面基底曲率可由PDMS半圆球凹凸模的曲率决定和改变，且制得的曲面微透镜阵列的微透镜数值孔径高达0.625。

主权项

一种高数值孔径曲面微透镜阵列制备方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步、PDMS平面微凹透镜阵列负模的制备1.1制备内构双锥形玻璃微喷嘴，出口内径为5~200μm；1.2对PP塑料基板进行洁净处理；1.3驱动内构双锥形玻璃微喷嘴，将甘油水溶液按需喷射到PP塑料基板上，得到甘油水溶液微液滴阵列；1.4将PDMS液体抽真空，去除液体中的气泡，再缓慢、均匀沉积到甘油水溶液微液滴阵列上，再次抽真空后，放入烘箱内30~40℃下加热24小时后，将固化后的PDMS揭下，即制得PDMS平面微凹透镜阵列负模；第二步、PDMS曲面微凹透镜负模的制备：采用模塑法制备出PDMS半圆球凸凹模，再将PDMS平面微凹透镜阵列负模与PDMS半圆球凹模粘结到一起得到PDMS曲面微凹透镜负模； 第三步、高数值孔径曲面微透镜阵列的制备：向制得的PDMS曲面微凹透镜阵列负模填充NOA1625光学胶水，将PDMS半圆球凸模与PDMS半圆球凹模合模，经紫外曝光1小时后，将固化的NOA1625光学胶水从PDMS模具上揭下，即得到高数值孔径曲面微透镜阵列。