[发明专利]一种晶圆级电性测试统计过程控制系统及方法

摘要

一种晶圆级电性测试的统计过程控制系统及方法，该系统包括晶圆参数测试设备、晶圆测试传输设备、初始SPC数据整理和判断单元、数据存储和查询单元以及二级SPC数据整理和判断单元；由于二级SPC数据整理和判断单元独立于初始SPC数据整理和判断单元，其参照监控规则，对存储在数据存储和查询单元中的数据进行二次计算和判读，给制造执行系统提供控制指令。因此，本发明不仅确保了监控数据来源的一致性，且能及时发现生产线上可能存在的问题，采取相应的措施，以避免这些问题的扩大，甚至造成产品的缺陷。

主权项

一种晶圆级电性测试统计过程控制的系统，用于给制造执行系统提供控制指令，其包括：晶圆参数测试设备、晶圆测试传输设备、初始SPC数据整理和判断单元以及数据存储和查询单元，其特征在于，还包括二级SPC数据整理和判断单元，其包括：规则设定接口，用于交互输入晶圆级电性测试工艺条件所需各种测试参数的监控规则；数据提取模块，其定期从所述数据存储和查询单元读取来自所述初始SPC数据整理和判断单元的数据；数据加工模块，其参照所述监控规则，对所述数据提取模块读取的数据进行二次计算和判读，并判断工艺过程是否满足监控规则的要求；异常情况处理模块，接收所述数据加工模块得出的发生违反监控规则的状态信息，根据判断结果产生处置信息，向所述制造执行系统提供相应的控制指令；并将判断结果和处置信息发送到所述数据存储和查询单元中。