[发明专利]一种多通道管控工艺流程的设计方法有效

专利信息
申请号: 201410117735.2 申请日: 2014-03-27
公开(公告)号: CN103941674A 公开(公告)日: 2014-07-23
发明(设计)人: 俞晓菁;朱燕萍 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;林彦之
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种多通道管控工艺流程的设计方法,包括根据同种技术节点的不同产品特性,建立满足所述不同产品共性条件工艺流程的主工艺流程,并在主流程工艺流程上预设不同条件工艺流程的分支流程;其中,主工艺流程包括多个工艺站点和虚拟站点,分支流程的设置以一个开始站点开始和以其相应的结束站点结束;接着将待建立工艺流程与主流程工艺流程进行比较,得到不同于主流程工艺流程中工艺站点的集合;然后从工艺站点集合中归纳出一个或多个具有连续站点的子集,将子集用在主工艺流程上预设不同条件工艺流程的相应分支流程替代;最后依次将主工艺流程中相同的工艺站点与分支流程通过虚拟站点串接起来,得到该待建产品的工艺流程。
搜索关键词: 一种 通道 工艺流程 设计 方法
【主权项】:
一种多通道管控工艺流程的设计方法,其特征在于,用于对同种技术节点中的不同产品进行工艺流程的整体设计,所述方法包括如下步骤:步骤S01:根据同种技术节点的不同产品特性,建立满足所述不同产品共性条件工艺流程的主工艺流程;并在主工艺流程上预设满足所述不同产品差异性条件工艺流程的分支流程;其中,所述主流程工艺流程包括多个工艺站点和虚拟站点,所述虚拟站点包括开始站点和结束站点,所述开始站点与结束站点成对出现,一个开始站点只对应一个结束站点;所述分支流程的设置以一个开始站点开始和以其相应的结束站点结束;步骤S02:将待建立工艺流程与所述主工艺流程进行比较,得到不同于所述主流程工艺流程中工艺站点的集合;步骤S03:从所述工艺站点集合中归纳出一个或多个具有连续站点的子集,将所述子集用所述在主工艺流程上预设不同条件工艺流程的相应分支流程替代;步骤S04:依次将所述主工艺流程中相同的工艺站点与所述分支流程通过所述虚拟站点串接起来,得到所述待建产品的工艺流程。
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