[发明专利]一种连续相位板加工误差识别方法

摘要

本发明公开了一种连续相位板加工误差识别方法，属相位板加工误差识别领域，本发明采用二次匹配，先对被测面形和参考面形进行第一次匹配，得到粗定位的平移位置坐标，然后在根据平移位置坐标设定的邻域范围内对被测面形和参考面形进行第二次匹配，缩小误差范围，得到精确定位位置参数，并根据精确定位位置函数得到加工误差指标，本方法改变一次匹配难以对高精度要求的CPP进行误差识别的缺陷，采用逐步递进精度逐步提高的二次匹配方法提高CPP误差识别的精度，本发明所提供的方法误差识别的RMS值可达30nm以下，PV值可达1波长以下。

主权项

一种连续相位板加工误差识别方法，其特征在于，包括：步骤一，利用检测设备分别获取被测连续相位板的参考面形和被测面形的二维图像数据，所述被测面形为被测连续相位板所被加工形成的面形；步骤二，在进行第一次匹配之前，还对经所述步骤一获取的被测面形的二维图像数据和参考面形的二维图像数据进行预处理，所述预处理包括执行数据填补算法和去噪算法，所述数据填补算法为双线性插值算法，其填补所述被测面形的二维图像数据和所述参考面形的二维图像数据的缺失数据点，所述去噪算法为低通滤波去噪算法，其除去所述被测面形的二维图像数据和所述参考面形的二维图像数据的噪声点；利用相位相关算法对参考面形的二维图像数据以及被测面形的二维图像数据进行第一次匹配，得到加工误差的粗定位平移参数，所述粗定位平移参数包括所述被测面形的平移位置坐标；所述第一次匹配的具体过程为：a1)将经所述步骤二预处理后的所述被测面形的二维图像数据和所述参考面形的二维图像数据进行傅立叶变换，分别得到所述被测面形和所述参考面形的功率谱；a2)分别提取所述被测面形功率谱和所述参考面形功率谱的相谱；a3)根据所述被测面形的相谱和所述参考面形的相谱得到所述被测面形和所述参考面形的频域相关函数；a4)将所述频域相关函数进行傅立叶反变换，得到所述被测面形和所述参考面形的空间域相关函数及其峰值；a5)由所述峰值得到该峰值对应的平移位置坐标和平移值；步骤三，利用全局搜索方法对所述参考面形在加工原点坐标的领域范围内的二维图像数据以及被测面形在所述平移位置坐标的邻域范围内的二维图像数据进行第二次匹配，其中，加工原点坐标的领域范围与平移位置坐标的领域范围具有相同的大小，从而得到所述加工误差的三个精确定位位置参数，所述三个精确定位位置参数分别为精确定位平移参数、精确定位旋转参数和精确定位缩放参数，所述精确定位平移参数包括被测面形的平移量；步骤四，根据所述平移位置坐标和所述精确定位位置参数得到所述平移位置坐标和所述精确定位位置参数对应的被测面形的面形分布，利用被测面形的面形分布和参考面形的面形分布计算得到误差指标值，所述误差指标值包括面形残差峰谷值和面形残差均方根值。