[发明专利]伺服式重载荷超精密气囊支撑电动调平系统及其调节方法有效
| 申请号： | 201410114024.X | 申请日： | 2014-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN103838259A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 刘延芳;陈学生;齐冀;齐乃明;周文勇 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学;北京宇航系统工程研究所 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 伺服式重载荷超精密气囊支撑电动调平系统及其调节方法，属于超精密仪器设备平台技术领域。为了解决目前的动态调平系统对支撑高度很难实现快速高精度的调节的问题。所述电动调平系统包括基座、调平平台、气囊、M组电动支撑高度调节装置、电子水平仪和控制器。调平平台中心通过气囊支撑在基座上，在气囊的周围分布M组电动支撑高度调节装置，调平平台的基准面安装伺服式电子水平仪，控制器根据电子水平测得数据，控制M组电动支撑高度调节装置调节自身的支撑高度，从而实现对调平平台水平度的动态高精度调节。它用于调平平台。 | ||
| 搜索关键词： | 伺服 载荷 精密 气囊 支撑 电动 系统 及其 调节 方法 | ||
【主权项】：
伺服式重载荷超精密气囊支撑电动调平系统，其特征是在于，所述电动调平系统包括基座（1）、调平平台（6）、气囊（4）、M组电动支撑高度调节装置、电子水平仪（12）和控制器；M的取值为大于2的整数；电子水平仪（12）设置在调平平台（6）的上表面；调平平台（6）的下表面与气囊（4）的顶部接触，气囊（4）的底部固定在基座（1）上，所述气囊（4）的位置对应基座（1）和调平平台（6）的中心；M组电动支撑高度调节装置设置在调平平台（6）与基座（1）之间，M组电动支撑高度调节装置等间距分布在气囊（4）的外侧，M为正整数；所述电动支撑高度调节装置包括伺服电机（2）、伺服电机驱动器（13）和伺服高度调节装置；所述伺服电机（2）、伺服电机驱动器（13）和伺服高度调节装置的底端设置在基座（1）上，伺服电机驱动器（13）的驱动信号输出端与伺服电机（2）的驱动信号输入端连接，伺服电机（2）的动力输出端与伺服高度调节装置的动力输入端连接，伺服高度调节装置的顶端固定在调平平台（6）的下表面；电子水平仪（12）的倾斜角信号输出端与控制器的倾斜角信号输入端连接，控制器的M个高度调节控制信号输出端分别与M组电动支撑高度调节装置的伺服电机驱动器（13）的高度调节控制信号输入端连接。
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