[发明专利]异物检测装置有效
申请号: | 201410113698.8 | 申请日: | 2014-03-25 |
公开(公告)号: | CN104076053B | 公开(公告)日: | 2018-06-19 |
发明(设计)人: | 的场吉毅 | 申请(专利权)人: | 日本株式会社日立高新技术科学 |
主分类号: | G01N23/223 | 分类号: | G01N23/223 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供异物检测装置,其能够检测在连续流动的试样中包含的特定金属异物。该异物检测装置具有:X射线源(2),其对在一定方向上移动的试样(S)照射原级X射线(X1);平行多毛细管(3),其是至少在试样的移动方向上排列多个毛细管(3a)而构成的,取出从被照射原级X射线的试样产生的次级X射线的一部分平行成分,射出平行的次级X射线(X2);分光元件(4),其从平行的次级X射线分光出特定的荧光X射线(X3);TDI传感器(5),其接收荧光X射线;以及控制部(C),其对TDI传感器进行控制,检测与荧光X射线对应的异物(S1),控制部使TDI传感器的电荷转移的方向和速度与试样的移动方向和速度一致,对TDI传感器接收到的荧光X射线的亮度值进行累计。 1 | ||
搜索关键词: | 荧光X射线 异物检测装置 平行 移动方向 毛细管 照射 电荷转移 分光元件 金属异物 连续流动 速度一致 上移动 检测 异物 分光 射出 取出 | ||
【主权项】:
1.一种异物检测装置,其特征在于,该异物检测装置具有:X射线源,其对在一定方向上移动的试样照射原级X射线;平行二维隙缝,其是至少在所述试样的移动方向上排列多个隙缝而构成的,取出从被照射所述原级X射线的所述试样产生的次级X射线的一部分平行成分,射出平行的次级X射线;分光元件,其从所述平行的次级X射线分光出特定的荧光X射线;TDI传感器,其接收所述荧光X射线;以及控制部,其对所述TDI传感器进行控制,检测与所述荧光X射线对应的异物,所述试样是在一定方向上流动的流体试样,所述控制部使所述TDI传感器的电荷转移的方向和速度与所述试样的移动方向和速度一致,对所述TDI传感器接收到的所述荧光X射线的亮度值进行累计。
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