[发明专利]一种石墨烯薄膜的转移方法有效
| 申请号： | 201410111360.9 | 申请日： | 2014-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN103935988B | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 邱玉锐;谭化兵;杨军;王炜;李慧峰 | 申请（专利权）人： | 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04;C23C16/56 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙)32228 | 代理人： | 冯智文 |
| 地址： | 214171 江苏省无锡市惠山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种石墨烯薄膜的转移方法。该方法首先将通过化学气相沉积法沉积有石墨烯薄膜的金属衬底与带有热剥离胶的过程转移基材平整贴合在一起，蚀刻掉所述金属衬底，得过程转移基材/热剥离胶/石墨烯薄膜半成品，再将该半成品石墨烯薄膜面与目标基材贴合后进行高温高压处理，使二者贴合均匀并使所述热剥离胶失去粘性，撕去所述过程转移基材，即得目标基材/石墨烯薄膜产品。本发明可高效、均匀、完整地将石墨烯薄膜转移至目标基材上，能满足各类光滑表面、台阶处（台阶断层差小于1mm）、不光滑平面（粗糙度Rpv<1mm）基材的石墨烯薄膜转移，操作简单，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 薄膜 转移 方法 | ||
【主权项】：
一种石墨烯薄膜的转移方法，具体步骤为：(1)利用化学气相沉积法在金属衬底上生长符合规格的石墨烯薄膜，通过覆膜辊压机将该金属衬底贴附至带有热剥离胶的过程转移基材：(2)通过蚀刻方法将步骤(1)所述金属衬底完全蚀刻，得到过程转移基材/热剥离胶/石墨烯薄膜半成品；(3)通过覆膜辊压机将步骤(2)所得半成品的石墨烯薄膜面与目标基材完全贴合在一起；其特征在于还包括以下步骤：(4)放置于高压腔体，向其中充入0.1～10MPa的高压气体，使得所述石墨烯薄膜面与目标基材更均匀地贴合，同时加热腔体至20～200℃，保持恒温恒压5～60min，使得所述热剥离胶失去粘性；(5)排压降温，排空所述高压腔体内的气体压力，取出产品，撕掉过程转移基材，即得目标基材/石墨烯薄膜终产品。
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