[发明专利]一种用于高温大热流测量的热流传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于高温大热流测量的热流传感器及其制备方法，本发明热流传感器底座上固定有支架，支架上设有上盖，上盖下表面设有上绝缘层，底座上表面设有下绝缘层，上绝缘层和下绝缘层上均固定有热电偶，且两个热电偶的一端均自所述支架向外引出，两个热电偶的另一端通过连接导线连接；连接导线外包覆有热障层，且热障层上下底面分别与上绝缘层和下绝缘层接触。本发明热流传感器具有耐高温和适合大热流测试的特点；采用温差热电偶的热电功能设计形式，巧妙的利用热障层的阻热性质形成热电偶的温差区域，该温差区域用于热流信号的测试，提高了热流传感器的精度，避免了传统热流传感器利用温度反推热流密度的繁复演算和不准确性。

主权项

一种用于高温大热流测量的热流传感器，包括底座（2），其特征在于，所述底座（2）上固定有支架（8），所述支架（8）上设有上盖（1），所述上盖（1）下表面设有上绝缘层（6），所述底座（2）上表面设有下绝缘层（3），所述上绝缘层（6）和下绝缘层（3）上均固定有热电偶（9），且两个热电偶（9）的一端均自所述支架（8）向外引出，两个热电偶的另一端通过连接导线（7）连接；所述连接导线（7）外包覆有热障层（5），且所述热障层（5）上下底面分别与上绝缘层（6）和下绝缘层（3）接触；所述上绝缘层（6）和下绝缘层（3）的材料均为Al2O3或SiO2，所述上绝缘层（6）和下绝缘层（3）的厚度均为1—3μm。