[发明专利]一种用于紫外像增强器的碲钾铯光电阴极

摘要

本发明公开了一种用于紫外像增强器的碲钾铯光电阴极，主要作为提高紫外像增强器的阴极灵敏度。其主要技术方案是在紫外像增强器的石英玻璃窗的内表面，镀制一层Te‑K‑Cs紫外光电阴极，由工序A安装石英玻璃窗及蒸发器、B抽真空升温、C阴极蒸镀前的准备、D第一次调节电流、E第二次调节电流、F第三次调节电流、G观察暗电流、H第四次调节电流、I关闭蒸发器电流组成。本发明通过应用证明从根本上提高了紫外像增强器光电阴极的灵敏度，有效地增加了紫外探测器的探测距离，能够满足军民特殊领域的实用要求。

主权项

一种用于紫外像增强器的碲钾铯光电阴极，其特征在于：在紫外像增强器的石英玻璃窗（1）的内表面，镀制一层Te ‑K‑Cs紫外光电阴极（2），由工序A安装石英玻璃窗及蒸发器、B抽真空升温、C阴极蒸镀前的准备、D第一次调节电流、E第二次调节电流、F第三次调节电流、G观察暗电流、H第四次调节电流、I关闭蒸发器电流组成，具体操作：A、安装石英玻璃窗及蒸发器，首先将镀有导电膜和电极的石英玻璃窗（1），安放在制作光电阴极设备的真空腔体（12）中并位于蒸发源罩（15）的上方，同时在蒸发源罩（15）的下方，分别安装Cs蒸发器（14‑1）、Te蒸发器（14‑2）、K蒸发器（14‑3），Te蒸发器（14‑2）放置在石英玻璃窗（1）的正下方，Cs蒸发器（14‑1）和K蒸发器（14‑3）放置在Te蒸发器的两旁；B、抽真空升温，将设备真空腔体（12）关闭好后，开启抽真空系统（19），当真空腔（12）内部的真空度达到5×10‑3Pa时，开启温度控制系统（18）对烘箱（9）进行加温，调节温度控制系统（18），使真空腔体的温度在3小时内升到310℃，保温7小时，然后进行2小时的缓慢降温；C、阴极蒸镀前的准备，当真空腔体（12）的温度降到160℃时，打开汞灯（10），开启蒸发器控制系统（20），在石英玻璃窗（1）与光电流收集极（13）之间施加90V的直流电压，同时监控光电流的大小，并开启记录仪进行记录；D、第一次调节电流，分别打开Te、K、Cs蒸发器的电源，开始制作Te‑K‑Cs光电阴极，通过蒸发器控制系统（20），将Te、K、Cs蒸发器的电流调至2.0A，然后按0.25A/分钟的速率增加K蒸发器、Cs蒸发器的电流，按0.1A/分钟的速率增加Te蒸发器的电流；E、第二次调节电流，当K蒸发器和Cs蒸发器的电流达到4.0A时，降低K、Cs两蒸发器的蒸发速率，按0.1A/分钟的速率增加K蒸发器、Cs蒸发器的电流；F、第三次调节电流，当K、Cs两蒸发器的电流分别增加到4.5A时，降低K、Cs两蒸发器的蒸发速率，按0.05A/分钟的速率增加K、Cs两蒸发器的电流，按0.05A/分钟的速率增加Te蒸发器电流，同时观察光电流的变化；G、观察暗电流，当K、Cs两蒸发器电流约为5.0A，Te蒸发器的电流大约为2.1A时，紫外光电阴极的光电流开始增加，此时关闭汞灯（10），观察暗电流；H、第四次调节电流，当暗电流随光电流的上升而上升时，将Cs蒸发器的电流降低0.5‑0.6A，此时光电流保持上升，按0.02A/4分钟的速率增加Te蒸发器电流；I、关闭蒸发器电流，当光电流上升到不再上升的时候，先关闭K蒸发器电流，光电流继续上升，保持Cs蒸发器电流至光电流上升到最大且保持不变时关闭Cs蒸发器电流，继续等待光电流变化直到光电流下降时关闭Te蒸发器电流，之后降低真空腔体（12）的温度到室温，此时Te‑K‑Cs光电阴极（2）制作完毕。