[发明专利]基于导模的金属表面粗糙度测量系统及方法有效
| 申请号： | 201410106284.2 | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103884298A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 殷澄;汤一彬;单鸣雷;陈秉岩;韩庆邦;朱昌平 | 申请（专利权）人： | 河海大学常州校区 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 213022 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于导模的金属表面粗糙度测量系统及方法，该测量系统包括检测探头、激光器和探测器，所述检测探头包括光传导装置和镀在光传导装置上的一层金膜，所述金膜与待测金属表面构成双面金属包覆波导结构，所述金膜与待测金属表面之间的空气隙为导波层，所述激光器发出的激光进入光传导装置，经由所述金膜耦合进双面金属包覆波导结构，反射激光经由所述金膜，进入光传导装置，再通过光路系统进入所述探测器。本发明的基于导模的金属表面粗糙度测量系统，能够利用波导结构中的导模来探测加工的金属表面的粗糙度，利用导模的超高灵敏度，理论精度高达1nm，对于各种精密仪器的加工工艺有重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 金属表面 粗糙 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于导模的金属表面粗糙度测量系统，其特征在于，包括检测探头、激光器和探测器，所述检测探头包括光传导装置和镀在光传导装置端面上的一层金膜，所述金膜与待测金属表面构成双面金属包覆波导结构，所述金膜与待测金属表面之间的空气隙为导波层，所述激光器发出的激光进入光传导装置，经由所述金膜耦合进双面金属包覆波导结构，反射激光经由所述金膜进入光传导装置，再通过光路系统进入所述探测器。
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