[发明专利]一种靶材绑定方法有效
| 申请号： | 201410099257.7 | 申请日： | 2014-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN104928633B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 林俊荣;梁敏敏;祝令建;王玉晓 | 申请（专利权）人： | 汉能联创移动能源投资有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K31/02 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司11252 | 代理人： | 周放,张春雨 |
| 地址： | 100101 北京市朝阳区北辰西*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种靶材绑定方法，通过在靶材和背板之间的焊接层内设置筛孔尺寸为20‑120目的非磁性金属网，从而有效消除或分割焊接层中存在的大气泡，大大提高了靶材的绑定率，有效避免了靶材在使用过程中因热聚集于焊接层的大气泡内而导致的脱靶隐患；同时，所述非磁性金属网的存在还可以增加焊接层的导电导热性能以及其耐热性能，并起缓冲作用和控制焊接层厚度的作用。本发明工艺简单、原料易得、成本低、所得产品可靠性好，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 绑定 方法 | ||
【主权项】：
一种靶材绑定方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)清洁靶材和背板的焊接面；(2)在有机粘合剂中加入重量百分比为50‑80％的非磁性金属粉制成导电胶；所述非磁性金属粉的粒径为1‑120μm；(3)将所述导电胶均匀涂布在所述靶材和背板的焊接面以及非磁性金属网的两面，其中，所述非磁性金属网的筛孔尺寸为20‑120目；(4)将所述非磁性金属网和靶材依次叠放在所述背板的焊接面上并定位，所述非磁性金属网位于靶材和背板的焊接面之间；(5)在所述靶材上放置压块，静置固化，得到位于所述靶材和所述背板之间的焊接层；(6)清除靶材边缘多余的导电胶。
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