[发明专利]大口径光学元件轮廓的一次拼接测量装置

摘要

大口径光学元件轮廓的一次拼接测量装置，涉及一种光学元件轮廓的测量装置。设有Y轴直线电机、Y轴直线导轨、底座、运动控制器、立柱、横梁、测量传感器、直线运动丝杆螺母副、联轴器、测头运动驱动电机、Z轴直线导轨、Z轴直线电机、测头连接座、Z轴工作台、X轴工作台、X轴直线导轨、X轴直线电机、工件、工件回转台、连接座、旋转电机、Y轴工作台和计算机。可实现一次拼接测量，特别针对大口径工件减少了测量步骤，测量过程简单，测量效率高，结构简单紧凑，操作方便。

主权项

大口径光学元件轮廓的一次拼接测量装置，其特征在于设有Y轴直线电机、Y轴直线导轨、底座、运动控制器、立柱、横梁、测量传感器、直线运动丝杆螺母副、联轴器、测头运动驱动电机、Z轴直线导轨、Z轴直线电机、测头连接座、Z轴工作台、X轴工作台、X轴直线导轨、X轴直线电机、工件、工件回转台、连接座、旋转电机、Y轴工作台和计算机；所述Y轴直线电机和Y轴直线导轨设于底座上，立柱位于底座上，用以支撑横梁，X轴工作台固定于横梁上并由X轴直线电机驱动，X轴直线电机设在X轴直线导轨上，Z轴工作台位于X轴工作台上并由Z轴直线电机驱动，Z轴直线电机设在Z轴直线导轨上，测头连接座位于Z轴工作台上，联轴器连接测头运动驱动电机和直线运动丝杆螺母副，用于控制测量传感器的运动，旋转电机位于Y轴工作台上，旋转电机通过连接座带动工件回转台作旋转运动，计算机和运动控制器均位于底座上，计算机由运动控制器控制X轴直线电机及测头运动驱动电机速度进行测量轨迹联动插补，使测量传感器的拼接分段测量轨迹与工件轮廓线为等距线；测量传感器和测头个数为3。