[发明专利]微电化学传感器和用于运行微电化学传感器的方法有效
| 申请号： | 201410096791.2 | 申请日： | 2014-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN104062340B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | R.菲克斯;D.孔茨;A.克劳斯;K.萨纳;P.诺尔特 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;B81B7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 杜荔南;胡莉莉 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 微电化学传感器和用于运行微电化学传感器的方法。本发明涉及微电化学传感器（100），其具有由半导体衬底组成的载体材料（102）和布置在载体材料（102）的第一子区域中的化学敏感的传感器元件（104）。加热元件（106）布置在传感器元件（104）的区域中并且被构造用于对传感器元件（104）加温。微电子设备（108）布置在载体材料（102）的第二子区域中并且经由集成到载体材料（102）中的印制导线与传感器元件（104）和加热元件（106）连接。微电子设备（108）被构造用于运行加热元件（106）和传感器元件（104）。 | ||
| 搜索关键词： | 电化学传感器 用于 运行 方法 | ||
【主权项】：
1.微电化学传感器（100），具有以下特征：由半导体衬底或由能够借助于半导体工艺结构化的材料组成的载体材料（102）；化学敏感的传感器元件（104），其布置在载体材料（102）的第一子区域中；加热元件（106），其布置在传感器元件（104）的区域中并且被构造用于对传感器元件（104）加温；和微电子设备（108），其布置在载体材料（102）的第二子区域中，其中微电子设备（108）经由集成到载体材料（102）中的印制导线（306）与传感器元件（104）和加热元件（106）连接，其中微电子设备（108）被构造用于运行加热元件（106）和传感器元件（104）；其中传感器元件（104）被构造为具有在两侧的、对于待测量的物种可透过的电极（304）的薄层隔膜（300），其中传感器元件（104）布置在测量体积和参考体积之间。
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