[发明专利]干燥装置及干燥处理方法

摘要

本发明提供能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且能够在基板的面内进行均匀的干燥处理的干燥装置及干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、用于朝向支承在载置台（3）的基板（S）上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置（5）、以及控制部（6）。干燥装置（100）还包括用于调节处理容器（1）内的压力的压力控制机构。多个喷嘴（51）构成为能够针对每个喷嘴（51）独立调节气体的喷射流量、气体的种类。

主权项

一种干燥装置，其除去被涂敷在基板的表面的有机材料膜中的溶剂而使有机材料膜干燥，其中，该干燥装置包括能够抽成真空的处理容器、用于排出上述处理容器内的气体的排气口、用于在上述处理容器内支承上述基板的支承构件、具有用于朝向支承在上述支承构件上的上述基板喷射气体的多个喷嘴的气体喷射装置、以及以一个喷嘴或者两个以上喷嘴的组合为单位来独立调节从上述多个喷嘴喷射的上述气体的喷射流量的控制部，上述控制部将一边向上述处理容器内导入上述气体一边进行的干燥处理中的压力保持在0.1Pa～100Pa的范围内，上述控制部在开始进行上述处理容器内的减压排气后，在上述干燥处理中的压力达到上述范围的上限的情况下，开始向上述处理容器内导入上述气体，持续进行上述气体的导入和上述减压排气直至上述干燥处理结束为止。