[发明专利]集成分布布拉格反射光栅的增强型石墨烯波导探测器

摘要

一种集成分布布拉格反射光栅的增强型石墨烯波导探测器，该光电探测器制作在SOI衬底上，包括：一光波导，形成在衬底纵向的上面；一绝缘透明薄膜均匀制作在衬底上，并覆盖光波导；一石墨烯薄膜制作在绝缘透明薄膜上，并覆盖条状的该光波导的中间部分；一第一金属电极，其具有一接触端和条状的电极端，其接触端制作在绝缘透明薄膜上的一侧，其电极端纵向制作在石墨烯薄膜上；一第二金属电极，其具有一接触端和条状的电极端，其接触端制作在绝缘透明薄膜上的一侧，其电极端纵向制作在石墨烯薄膜上；一栅电极窗口，其形成于绝缘透明薄膜上，位于暴露的绝缘透明薄膜的任意表面。本发明将石墨烯光电探测器与波导、谐振腔等集成，克服了光响应度低的缺陷。

主权项

一种集成分布布拉格反射光栅的增强型石墨烯波导探测器，该探测器制作在SOI衬底上，包括：一光波导，该光波导为条状，形成在衬底纵向的上面，该光波导包括一输入耦合光栅、一第一DBR光栅、一第二DBR光栅和输出耦合光栅，该输入耦合光栅和第一DBR光栅位于石墨烯薄膜的一侧，该第二DBR光栅和输出耦合光栅位于石墨烯薄膜的另一侧，该输入耦合光栅和输出耦合光栅的结构满足布拉格条件；一绝缘透明薄膜，该绝缘透明薄膜均匀制作在衬底上，并覆盖光波导；一石墨烯薄膜，其制作在绝缘透明薄膜上，并覆盖条状的该光波导的中间部分；一第一金属电极，该第一金属电极有一接触端和条状的电极端，其接触端制作在绝缘透明薄膜上的一侧，其电极端纵向制作在石墨烯薄膜上，而位于条状的光波导的一侧；一第二金属电极，该第二金属电极有一接触端和条状的电极端，其接触端制作在绝缘透明薄膜上的一侧，其电极端纵向制作在石墨烯薄膜上，而位于条状的光波导的另一侧；一栅电极窗口，其形成于绝缘透明薄膜上，位于暴露的绝缘透明薄膜的任意表面。