[发明专利]用于超高真空剥离膜系统室内样品全自动交接的传动机构

摘要

用于超高真空剥离膜系统室内样品全自动交接的传动机构，克服了现有技术样品交接的传动机构只有转动机构和升降机构，均采用手动操作，容易出现误操作，引起设备的损坏和降低试验成功率的问题，特征是在机架上安装与转动机构平行的升降机构，在旋转机构的主轴上安装有花键齿轮，在转动机构的小真空室左法兰上连接与转动机构垂直的定位机构，在转接板中心孔中安装前端加工定位用键槽的定位销与花键齿轮配合使用，有益效果是，增加了定位锁紧功能，提高了旋转和升降的定位精度和样品托盘旋转后的重复定位精度，通过导轨和在导轨上安装滑块，将滚珠丝杠承受的弯矩转移到导轨上，提高了滚珠丝杠的运行平稳性和运动精度，还因此延长了机构的使用寿命。

主权项

用于超高真空剥离膜系统室内样品全自动交接的传动机构，包括机架（4），在机架（4）上安装有转动机构（1）和与转动机构（1）平行的升降机构（2），其特征在于，在所述旋转机构（1）的主轴（1‑5）上安装有花键齿轮（1‑8），在转动机构（1）的小真空室（1‑9）左法兰上用螺钉连接与转动机构（1）垂直的定位机构（3）， 所述定位机构（3）包括在安装架（3‑7）上安装的第三步进电机（3‑1）、第三减速机（3‑2）、第三联轴器（3‑3）、第二滚珠丝杆（3‑4）、第二法兰螺母（3‑5）和定位销（3‑6），在定位机构（3）的安装架（3‑7）上固定安装有前后2个第一导轨（12），在前后2个第一导轨（12）上安装可在第一导轨（12）上滑动的第一滑块（13），在第一滑块（13）上安装有转接板（14），转接板（14）前后两端与第一滑块（13）用螺钉固定连接，转接板（14）中心加工有通孔，在该通孔中安装定位销（3‑6），从而将第二滚珠丝杠（3‑4）承受的载荷转移到第一导轨（12）上，所述定位销（3‑6）前端加工有定位用键槽，与所述花键齿轮（1‑8）配合使用，在所述机架（4）上安装上磁感应开关（5‑1）和下磁感应开关（5‑2），在所述安装架（3‑7）上安装左磁感应开关（5‑3）和右磁感应开关（5 ‑4）。