[发明专利]用于六氟化硫气体分解过程实时监测的径向共振光声池

摘要

一种用于六氟化硫气体分解过程实时监测的径向共振光声池；主要包括共振腔、前端缓冲腔、后端缓冲腔、入射窗片、出射窗片、进气口、出气口、高灵敏度传声器、高压电极，以及接地电极。入射窗片和出射窗片分别在前端和后端缓冲腔上；两个缓冲腔分别在共振腔的两侧，依共振腔几何中心对称。两个缓冲腔的侧面分别有进气口和出气口。共振腔的轴向中心一端固定有高灵敏度传声器；共振腔几何中心的径向端有高压电极和接地电极，可以产生放电使SF₆气体发生分解。本发明可实时定量检测HF、SF₅、SF₄、SF₂、SOF₄、SO₂F₂、SOF₂、SO₂、CF₄、CO₂、H₂O等多种气体，而且特别适于化学性质不稳定的SF₆分解物实时定量测量分析。

主权项

一种用于六氟化硫气体分解过程实时监测的径向共振光声池，其特征在于，所述的径向共振光声池包括共振腔（1）、高压电极（2）、接地电极（3）、进气口（4）、出气口（5）、高灵敏度传声器（6）、前端缓冲腔（7）、后端缓冲腔（8）、入射窗片（9），以及出射窗片（10）；所述的入射窗片（9）和出射窗片（10）分别位于前端缓冲腔（7）和后端缓冲腔（8）上；前端缓冲腔（7）和后端缓冲腔（8）分别位于共振腔（1）的两侧，与共振腔（1）连通；前端缓冲腔（7）和后端缓冲腔（8）关于共振腔（1）的几何中心对称；前端缓冲腔（7）的侧面开有进气口（4），后端缓冲腔（8）的侧面开有出气口（5）；共振腔（1）的轴向中心一端固定有高灵敏度传声器（6）；共振腔几何中心径向方向的一端有高压电极（2），共振腔几何中心径向方向的另一端有接地电极（3），高压电极（2）与接地电极（3）相对布置。