[发明专利]用于还原金属晶种层上的金属氧化物的方法及装置

摘要

本发明公开用于还原金属晶种层上的金属氧化物的方法及装置，具体公开用于还原金属氧化物表面以改性金属表面的方法及设备。通过使金属氧化物表面暴露于远程等离子体，衬底上的金属氧化物表面可以被还原成纯金属和回流的金属。远程等离子体设备在单独独立的设备中不仅可以处理金属氧化物表面，而且可以冷却、装载/卸载并移动衬底。远程等离子体设备包括处理室和控制器，所述控制器被配置为：在处理室中提供具有金属晶种层的衬底：形成还原性气体物质的远程等离子体，其中远程等离子体包括来自还原性气体物质的自由基、离子和/或紫外线(UV)辐射；并且使衬底的金属晶种层暴露于远程等离子体以使金属晶种层的氧化物还原成金属并且使金属回流。

主权项

1.一种制备具有金属晶种层的衬底的方法，所述方法包括：在处理室中提供衬底，在所述衬底电镀表面上具有所述金属晶种层，其中所述金属晶种层的一部分已经转化成所述金属的氧化物；在远程等离子体源中形成还原性气体物质的远程等离子体，其中所述远程等离子体包括来自所述还原性气体物质的自由基、离子以及紫外线(UV)辐射中的一种或多种；并且使所述衬底的所述金属晶种层暴露于所述远程等离子体，其中暴露于所述远程等离子体使所述金属的所述氧化物还原成与所述金属晶种层结合在一起的薄膜形式的所述金属，在暴露于所述远程等离子体完成之后使用主动冷却系统冷却所述衬底，其中冷却所述衬底包括使用来自一或多个冷却气体入口的冷却气体冷却衬底以及使用支撑衬底的主动冷却基座冷却衬底中的一者或两者。