[发明专利]OSP膜厚的测量方法在审
| 申请号： | 201410077105.7 | 申请日： | 2014-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN103884726A | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 梁朝辉;杨颖 | 申请（专利权）人： | 工业和信息化部电子第五研究所 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22;G01N1/28 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郑彤;万志香 |
| 地址： | 510610 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种OSP膜厚的测量方法，包括如下步骤：（1）取样，在样品的OSP膜表面喷镀一层金属镀层；（2）在金属镀层表面涂覆环氧树脂胶，烘烤使环氧树脂胶固化；（3）制作切片，用扫描电镜测量OSP膜的厚度。本发明的测量方法通过直接在OSP膜表面进行喷镀和涂覆环氧胶、将待测OSP膜保护起来后再进行切片制作，利用扫描电镜可直观地观察OSP镀膜均匀性，从而对OSP膜覆盖程度进行评估，且可以直接对膜厚进行测量。其测试结果重现性和精确度高，所得数据便于工程参考和对比。 | ||
| 搜索关键词： | osp 测量方法 | ||
【主权项】：
一种OSP膜厚的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）取样，在样品的OSP膜表面喷镀一层金属镀层；（2）在金属镀层表面涂覆环氧树脂胶，烘烤使环氧树脂胶固化；（3）制作切片，用扫描电镜测量OSP膜的厚度。
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