[发明专利]石墨制品SiC涂层方法

摘要

一种石墨制品SiC涂层方法，其特征在于包括如下步骤：1）将需要制备SiC涂层的石墨工件清洁干净，选择合适的工装；2)清理沉积炉炉膛，将工装和石墨工件放置到沉积炉炉膛中；3)封闭沉积炉，抽真空，静止5-10分钟；4）开启沉积炉的冷却系统，送电加热至1300℃，保温0.5小时，先后往混合气罐中送入氩气、氢气和甲基三氯硅烷气体，保持沉积炉内压力小于10kpa，混合气罐的温度为100℃左右，涂层时间为0.5-1小时；5）涂层完毕，关闭甲基三氯硅烷气体和氢气，同时停止加热，然后关闭氩气，使炉膛温度自然降至室温。本发明生产过程耗时短、能耗小，制备SiC涂层均匀，生产出的产品质量好，生产效率高。

主权项

一种石墨制品SiC涂层方法，其特征在于包括如下步骤：1）将需要制备SiC涂层的石墨工件清洁干净，根据石墨工件的形状和涂层要求，选择合适的工装；2)清理沉积炉炉膛，将工装和石墨工件放置到沉积炉炉膛中；3)封闭沉积炉，抽真空，使沉积炉内的压力小于10kpa，静止5‑10分钟；4）开启沉积炉的冷却系统，送电加热至1300℃，保温0.5小时，开始往已经预热到100℃的混合气罐中送入氩气、氢气和甲基三氯硅烷气体，顺序为先送氩气5分钟，再送氢气1分钟，最后送甲基三氯硅烷气体，沉积涂层过程中，始终保持沉积炉内压力小于10kpa，混合气罐的温度为100℃，氩气流量4l/min，氢气流量5l/min，甲基三氯硅烷气体流量0.35l/min，涂层时间为0.5‑1小时；5）涂层完毕，先关闭甲基三氯硅烷气体3‑5分钟，再关闭氢气，同时停止加热，再过10分钟关闭氩气，炉膛温度自然降至室温，即得SiC涂层。