[发明专利]基于动态干涉仪的实时研磨抛光方法

摘要

本发明属于现代光学测量与制造技术领域，具体为一种基于动态干涉仪的实时研磨抛光方法。具体步骤包括：（1）根据工件的摆放位置坐标、待测曲面的方程和动态干涉仪在不同测量距离所对应的测量孔径尺寸，利用软件分析出动态干涉仪所需测量的孔径的数目、尺寸、位置及运动路径；（2）抛光组件或干涉仪按照设定的测量路径对待测曲面逐个进行子孔径的测量与加工，用测量的面形数据来实时确定在测量子孔径内的滞留时间和磨头的运动轨迹的设定；（3）对测量孔径范围内的面形冲洗吹干后，工业机器人对工件抛光/研磨；本发明方法所用系统造价低廉，通用性与实用性好，可实现对多种面形的动态在线测量与加工，抛光精度和抛光后面型符合度高。

主权项

一种基于动态干涉仪的实时研磨抛光方法，其特征在于：其采用包括工业机器人及其驱动控制系统，工件平台，抛光组件，抛光液注入/冲洗/吹干系统，动态干涉仪，数据采集/分析系统和人机交互界面的装置进行实时研磨抛光；其中所述的工业机器人具有六个轴，通过其驱动控制系统控制其在空间的位姿；所述的动态干涉仪放置于抛光组件前端，所述数据采集/分析系统与所述的干涉仪相连接；具体步骤如下：（1）根据工件在工件台上的摆放位置坐标、待测曲面的方程和动态干涉仪在不同测量距离所对应的测量孔径尺寸，利用软件分析出对曲面进行抛光/研磨时，动态干涉仪所需要测量的孔径的数目、尺寸、位置以及运动路径；（2）工业机器人的驱动与控制系统控制抛光组件或干涉仪按照根据上述软件分析结果设定的测量路径对待测曲面逐个进行子孔径的测量与加工，并用测量的面形数据实时确定在测量子孔径内的滞留时间和磨头的运动轨迹； （3）在利用抛光液注入/冲洗/吹干系统对测量孔径范围内的面形冲洗吹干后，工业机器人根据动态干涉仪实时反馈给工业机器人的驱动控制系统打磨/抛光头在测量孔径内所需滞留时间和运动轨迹，以及工件台需配合的移动或旋转，再对测量孔径范围内的工件表面进行抛光/研磨；（4）当走完上述完整的运动路径后，即完成了一次对整个工件表面的抛光/研磨，数据采集/分析系统。