[发明专利]用于制造包括多孔表面的微米和/或纳米机械结构的方法有效
| 申请号： | 201410056864.5 | 申请日： | 2014-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN103991838B | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·奥利耶 | 申请（专利权）人： | 法国原子能及替代能源委员会 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 余刚,张英 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于制造包括多孔表面的微米和/或纳米机械结构的方法。该方法包括由包含支撑基板和牺牲层的元件开始的以下步骤a）形成第一层，所述第一层的至少一部分是多孔的，b）在所述第一层上形成提供结构的机械特性的由一种（或多种）材料制成的层，称为中间层，c）在所述中间层上形成第二层，所述第二层的至少一部分是多孔的，d）在由所述第一层、中间层和第二层构成的堆叠中形成所述结构，e）通过至少部分地去除所述牺牲层来剥离所述结构。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 包括 多孔 表面 微米 纳米 机械 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种用于制造微米机械结构和/或纳米机械结构的方法，包括由包含支撑基底和牺牲层的元件开始的以下步骤：a)形成第一层，所述第一层的至少一部分是多孔的，b)在所述第一层上形成提供所述结构的机械性能的层，称为中间层，c)在所述中间层上形成第二层，所述第二层的至少一部分是多孔的，d)以由所述第一层、所述中间层和所述第二层构成的堆叠来形成所述结构，e)通过至少部分地去除所述牺牲层来剥离所述结构。
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