[发明专利]一种基于加速器的气体成分检测方法在审
| 申请号： | 201410056052.0 | 申请日： | 2014-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN103837522A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 梁立振;胡纯栋;王艳;邑伟;顾玉明;杨思浩;韦江龙;谢远来;赵祥学 | 申请（专利权）人： | 中国科学院等离子体物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/67 | 分类号： | G01N21/67 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于加速器的气体成分检测方法，将待检测气体作为加速器装置的工作气体，使其在气体放电室内通过气体放电形成该气体的离子；并由加速器系统将离子引出同时加速到一定的能量；在束流传输装置上设计一观测视线与束流传输方向垂直的观察窗口，将收光与光传输系统安装到观察窗口上，并安装收光与光传输系统与光谱学分光与记录设备的连接接口；光谱学分光与记录设备进行波长绝对标定；将获得的束流粒子特征谱线波长与原子光谱特征谱线进行比对，进而确认束流中粒子的种类；利用该离子电离截面和特征谱线发射截面可以推算出气体中各成分气体的相对比例。本发明的方法对待测环境真空条件要求不高，满足低气压条件下的检测要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 加速器 气体 成分 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种基于加速器的气体成分检测方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将待检测气体作为加速器装置的工作气体，使其在气体放电室内通过气体放电形成该气体的离子；并由加速器系统将离子引出同时加速到一定的能量；（2）在束流传输装置上设计一个观察窗口，所述的观察窗口的观测视线与束流传输方向垂直；（3）将收光与光传输系统安装到观察窗口上，并安装收光与光传输系统与光谱学分光与记录设备的连接接口；光谱学分光与记录设备进行波长绝对标定；（4）将观察窗口处的收光与光传输系统连接到光谱学分光与记录设备，在加速器运行过程中进行全谱扫描；由于本次观测角度为90度，因此其记录的光谱信号为束流粒子特征谱线；（5）将步骤（4）中所获得的束流粒子特征谱线波长与原子光谱特征谱线进行比对，进而确认束流中粒子的种类；（6）结合步骤（5）中所获得的粒子的种类，利用该离子电离截面和特征谱线发射截面可以推算出气体中各成分气体的相对比例。
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