[发明专利]LaNiO3薄膜形成用组合物及利用该组合物的LaNiO3薄膜的形成方法在审

专利信息
申请号: 201410054149.8 申请日: 2014-02-18
公开(公告)号: CN104071855A 公开(公告)日: 2014-10-01
发明(设计)人: 藤井顺;樱井英章;曽山信幸 申请(专利权)人: 三菱综合材料株式会社
主分类号: C01G53/00 分类号: C01G53/00;H01B1/08
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 康泉;宋志强
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种LaNiO3薄膜形成用组合物以及利用该组合物的LaNiO3薄膜的形成方法。该LaNiO3薄膜形成用组合物包括LaNiO3前驱体和乙酸,在所述LaNiO3薄膜形成用组合物100质量%中,LaNiO3前驱体的比例以氧化物换算为1~20质量%,所述LaNiO3薄膜形成用组合物还包括由N-甲基甲酰胺组成的稳定剂,所述稳定剂相对于组合物中的LaNiO3前驱体的总量1摩尔,超过0且为10摩尔以下。
搜索关键词: lanio sub 薄膜 形成 组合 利用 方法
【主权项】:
一种LaNiO3薄膜形成用组合物,其包括LaNiO3前驱体和乙酸,所述LaNiO3薄膜形成用组合物的特征在于,在所述LaNiO3薄膜形成用组合物100质量%中,所述LaNiO3前驱体的比例以氧化物换算为1~20质量%,所述LaNiO3薄膜形成用组合物还包括由N‑甲基甲酰胺组成的稳定剂,所述稳定剂相对于所述LaNiO3薄膜形成用组合物中的LaNiO3前驱体的总量1摩尔,超过0且为10摩尔以下。
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