[发明专利]一种TiN/CrAlSiN纳米复合多层涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201410044737.3 | 申请日： | 2014-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN103757597A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 李伟;王建鹏;刘平;马凤仓;刘新宽;陈小红;何代华 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根;马文峰 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种TiN/CrAlSiN纳米复合多层涂层及制备方法。所述TiN/CrAlSiN纳米复合多层涂层由纳米复合结构的CrAlSiN层和TiN层交替沉积在基体上形成，靠近基体的一层为TiN层，最上层为纳米复合结构的CrAlSiN层；所述TiN/CrAlSiN纳米复合多层涂层厚度为2.0-3.2μm，所述纳米复合结构的CrAlSiN层厚度为1.2nm，所述的TiN层厚度为6.0nm。其制备方法包括清洗基体和交替溅射CrAlSiN层和TiN层等2个步骤。该TiN/CrAlSiN纳米复合多层涂层硬度较高，当Si与CrAl的原子比，即Si：CrAl为5:20时，其硬度高达39.7GPa。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tin cralsin 纳米 复合 多层 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种TiN/CrAlSiN纳米复合多层涂层，其特征在于所述的TiN/CrAlSiN纳米复合多层涂层由纳米复合结构的CrAlSiN层和TiN层交替沉积在基体上形成的，靠近基体的一层为TiN层，最上层为纳米复合结构的CrAlSiN层；所述的TiN/CrAlSiN纳米复合多层涂层厚度为2.0‑3.2μm，所述纳米复合结构的CrAlSiN层厚度为1.2nm，所述的TiN层厚度为6.0nm；所述基体为金属、硬质合金或陶瓷。
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