[发明专利]基于石墨烯用于获取微弱能量的柔性微结构及其制造方法在审
| 申请号： | 201410036412.0 | 申请日： | 2014-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN103787259A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 娄利飞;潘青彪;吴志华;彭博 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 郭官厚 |
| 地址： | 710071*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于石墨烯用于获取微弱能量的柔性微结构及其制造方法，柔性微结构为层结构，分两部分，第一部分结构为：柔性衬底，形成于柔性衬底上的石墨烯层，生长于石墨烯层上的氧化锌纳米线层，以及石墨烯层上的引出电极层；第二部分结构为：柔性衬底，形成在柔性衬底上的石墨烯层和引出电极层；第一部分结构与第二部分结构固定到一起且柔性衬底位于最外；氧化锌纳米线层上还形成有至少一层石墨烯/氧化锌纳米线层。本发明的有益之处在于：石墨烯层作为电极材料，不仅提高了电荷的收集速度，而且大大提高了器件的可靠性和寿命；氧化锌纳米线的可控性生长可大幅提高压电性能，巧妙设计的串并联结构可以满足不同自驱动微纳米系统的功能要求。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 石墨 用于 获取 微弱 能量 柔性 微结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
基于石墨烯用于获取微弱能量的柔性微结构，其特征在于，所述柔性微结构为层结构，并且分为两部分，第一部分结构与第二部分结构固定到一起，其中，第一部分结构的组成为：第一柔性衬底，形成于所述第一柔性衬底单侧的第一石墨烯层，生长于所述第一石墨烯层上的第一氧化锌纳米线层，所述第一石墨烯层上还形成有第一引出电极层，所述第一引出电极层包括：金层和铜线；第二部分结构的组成为：第二柔性衬底，形成在所述第二柔性衬底单侧的第二石墨烯层，所述第二石墨烯层上还形成有第二引出电极层，所述第二引出电极层包括：金层和铜线；所述第一柔性衬底与第二柔性衬底均位于最外层。
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