[发明专利]掩膜装置、制造该掩膜装置的系统以及方法无效
| 申请号： | 201410033130.5 | 申请日： | 2014-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN103757589A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 黄俊允 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;B23K28/02;B23K26/22;B23K26/38 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 赵根喜;李昕巍 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了掩膜装置、制造该掩膜装置的系统以及方法，其中掩膜装置包括一掩膜托架以及设置于所述掩膜托架一侧的多个掩膜板，所述掩膜托架包括多个支撑肋，所述多个支撑肋之间形成矩阵排列的多个格子开孔；每个所述掩膜板包括掩膜孔阵列以及自所述掩膜孔阵列向外延展出的多个固定部，所述固定部用于连接于所述掩膜托架的支撑肋，一个所述掩膜板的掩膜孔阵列对应于所述掩膜托架上的一个所述格子开孔。本发明同时对掩膜板以及掩膜托架进行了改进，将现行掩膜托架设计由大开孔形式改为中间有支撑肋形式的格子状，多片掩膜板与每个格子对应，分别进行张网，可排除因大张力所造成的微变形，可以更精准将掩膜板张网至正确位置。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 制造 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜装置，其特征在于：包括一掩膜托架（40）以及设置于所述掩膜托架（40）一侧的多个掩膜板（10）；所述掩膜托架（40）包括多个支撑肋（42），所述多个支撑肋（42）之间形成矩阵排列的多个格子开孔（41）；每个所述掩膜板（10）包括掩膜孔阵列（11）以及自所述掩膜孔阵列（11）向外延展出的多个固定部（14），所述固定部（14）用于连接于所述掩膜托架（40）的支撑肋（42），一个所述掩膜板（10）的掩膜孔阵列（11）对应于所述掩膜托架（40）上的一个所述格子开孔（41）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海和辉光电有限公司，未经上海和辉光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410033130.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：阿胶胶液废沫提取机缠绕式变速升降装置
- 下一篇：传热组合物
- 同类专利
- 专利分类
