[发明专利]用于建立半导体器件统计模型的数据处理方法有效
| 申请号： | 201410022284.4 | 申请日： | 2014-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN104794318B | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 韩晓婷;何小东;李新红;沈丽君 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F19/00 | 分类号： | G06F19/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于建立半导体器件统计模型的数据处理方法，包括如下步骤测量与所述半导体器件统计模型相关的至少两种半导体器件参数得到相应的至少两组实测数据，所述实测数据满足为达到预设统计标准所需的采集数量要求；生成与所述至少两组实测数据具有相同分布、相同均值、相同偏差以及相同相关系数的相应的至少两组随机数据，所述随机数据的数量为所述实测数据的数量的5%～10%；所述随机数据被用于建立所述半导体器件统计模型。上述方法可以大大减少数据处理所消耗的时间，提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 建立 半导体器件 统计 模型 数据处理 方法 | ||
【主权项】：
一种用于建立半导体器件统计模型的数据处理方法，包括如下步骤：测量与所述半导体器件统计模型相关的至少两种半导体器件参数得到相应的至少两组实测数据，所述实测数据满足为达到预设统计标准所需的采集数量要求；生成与所述至少两组实测数据具有相同分布、相同均值、相同标准偏差以及相同相关系数的相应的至少两组随机数据，所述随机数据的数量为所述实测数据的数量的5％～10％；所述随机数据被用于建立所述半导体器件统计模型。
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