[发明专利]基于MEMS微镜阵列和可变形镜的可编程WSS及实现方法

摘要

本发明公开了一种基于MEMS微镜阵列和可变形镜的可编程WSS及实现方法，涉及光通信领域的波长选择开关，该基于MEMS微镜阵列和可变形镜的可编程WSS由基于MEMS可变形镜的光处理系统和基于MEMS微镜阵列的光处理系统组成，光信号经基于MEMS可变形镜的光处理系统调整相位，输出至基于MEMS微镜阵列的光处理系统，根据网络波长和带宽配置要求，旋转微镜阵列，将不同波长的光信号输出至不同的输出光纤，实现通道选择，调节光强大小。本发明能同时控制指定通道的相位和幅度，实现波长的动态配置、色散补偿和功率均衡，简化ROADM系统的结构，有效降低成本，提高传输质量。

主权项

一种基于MEMS微镜阵列和可变形镜的可编程WSS，其特征在于：由基于MEMS可变形镜的光处理系统和基于MEMS微镜阵列的光处理系统组成，所述基于MEMS可变形镜的光处理系统包括输入光纤、偏振分集元件、第一光栅、第一准直透镜、基于MEMS的可变形镜和第一反射镜，不同波长的光信号从输入光纤进入基于MEMS可变形镜的光处理系统，偏振分集元件将输入光纤输出的光信号转换成与第一光栅的衍射最大偏振态一致的光信号，偏振分集元件输出的光信号到达第一光栅，第一光栅进行分光，使不同波长的光信号沿水平方向展开，达到第一准直透镜；第一准直透镜在竖直方向上倾斜一定角度，第一准直透镜使不同波长的光信号在基于MEMS的可变形镜的表面聚焦成为光斑；通过MEMS调整可变形镜表面的形状，使到达基于MEMS的可变形镜表面的不同波长的光信号经过不同的路程，改变不同波长的光信号的反射光的相位，改变相位后的不同波长的光信号反射回第一准直透镜，经过第一准直透镜、第一光栅到达第一反射镜，最后由第一反射镜反射输出；所述基于MEMS微镜阵列的光处理系统包括第二反射镜、第二光栅、第二准直透镜、基于MEMS的微镜阵列和输出光纤，从基于MEMS的可变形镜的光处理系统中的第一反射镜输出的光信号经第二反射镜改变方向到达第二光栅，第二光栅进行分光，使不同波长的光信号沿水平方向展开，到达第二准直透镜，第二准直透镜使不同波长的光信号在基于MEMS的微镜阵列的表面聚焦成光斑，每个波长的光信号对应微镜阵列中的一个或几个微型反射镜，旋转微镜阵列中的微型反射镜，根据网络波长和带宽配置要求，将不同波长的光信号输出至不同的输出光纤，最终将任意波长的光信号无串扰地倒换到指定的输出端口，实现波长选择开关的功能。