[发明专利]点衍射移相式干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法有效
| 申请号： | 201410016043.9 | 申请日： | 2014-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN103697808A | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 马冬梅;张海涛;孙鸽;于杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 点衍射移相式干涉仪高度传递函数测试装置及其测试方法，属于光学测试领域，为解决现有技术无法对球面测试时干涉仪传递函数测试问题，技术方案为：打开点衍射相移干涉仪中的光学照明系统与干涉图接收采集光电系统的电源，使其处于工作状态；在测试光路中与光轴方向夹角45°放置高度传递函数测试基准板使光路折转，在其后放置高精度球面反射镜，使其球心与衍射光出射点即针孔衍射板重合；在干涉图接收采集光电系统上可获得基准板的干涉图，通过测试采集相移图像将得到基准板的面形测试图，即测试基准板的高度测试结果hi；建立计算模型，通过高度测试结果hi与基准板相应频域的高度值h0相比较，测得干涉仪高度测试传递函数值H=hi/h0。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 移相式 干涉仪 高度 传递函数 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
点衍射移相式干涉仪高度传递函数测试装置，其特征是，点衍射相移干涉仪中的光学照明系统（4）发出的光经点衍射干涉仪中针孔衍射板（5），入射到测试基准板（3），光由测试基准板（3）反射到高精度球面反射镜（6）后原路返回至针孔衍射板（5）形成测试光，与针孔衍射板（5）衍射出的基准球面波形成的参考光相干涉后，干涉图成像在点衍射干涉仪的干涉图接收采集光电系统（7）中。
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