[发明专利]掩模有效
| 申请号： | 201410015576.5 | 申请日： | 2014-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN104141106B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 韩政洹 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘灿强;王占杰 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩模，所述掩模包括：板状的主体，包括开口；以及修整部分，包括从板状的主体沿第一方向突出并沿第二方向纵向地延伸的至少一个第一弯曲部分。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模 | ||
【主权项】：
1.一种掩模，所述掩模包括：板状的主体，包括开口；以及修整部分，包括从板状的主体沿第一方向突出并沿第二方向纵向地延伸的至少一个第一弯曲部分以及从板状的主体沿第一方向突出并沿第三方向纵向地延伸的至少一个第二弯曲部分，其中，第二方向和第三方向基本相互垂直。
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