[发明专利]低切损激光切割锯无效
| 申请号： | 201410012279.5 | 申请日： | 2014-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN103706954A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 张振中;王双鹏;姜明明;李炳辉;申德振 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B23K26/402 | 分类号： | B23K26/402;B23K26/14;B23K26/70 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 王丹阳 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低切损激光切割锯，属于半导体器件技术领域。解决了现有技术中硅锭的切割方法切损率高，切割晶圆直径受限制，生产效率低的技术问题。本发明的切割锯包括：激光器组、耦合装置、光纤组、箔带、导轨、支架和驱动控制装置，激光器组发射多束激光束，经耦合装置汇聚至光纤组输入端，光纤组并排对齐固定在箔带上，箔带两端可以拉直固定在支架的两端，激光经光纤组输入端传输至光纤组输出端，在驱动控制装置控制下实现激光切割。本发明的切割锯能够显著降低切损率，并且切割直径不受限制，尤其适用于太阳能光伏硅锭加工，降低太阳能电池的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 低切损 激光 切割 | ||
【主权项】：
低切损激光切割锯，其特征在于，包括：激光器组(1)、耦合装置、光纤组、箔带(4)、导轨(5)、支架(6)和驱动控制装置(7)；所述激光器组(1)发射多束激光束；所述耦合装置由多个汇聚透镜(2)组成，每个汇聚透镜(2)将一束激光束汇聚至一根光纤(3)输入端；所述光纤组由多根光纤(3)组成，多根光纤(3)输出端并排对齐固定在箔带(4)上，光纤(3)将光纤(3)输入端的激光传输至光纤(3)输出端，至少一根光纤(3)用于探测光纤(3)输出端距离切割点的高度，并反馈给驱动控制装置(7)，至少一根光纤(3)用作切割光源；所述箔带(4)的两端可以分别固定在支架(6)的两端且可以上下移动，箔带(4)处于拉直状态；所述支架(6)设在导轨(5)上，且能够在导轨(5)内做直线往复运动；所述驱动控制装置(7)控制支架(6)在导轨(5)内做往复运动的速度并根据光纤(3)的反馈调节箔带(4)距切割点的高度。
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