[发明专利]一种微量元素复合掺杂改性氧化锡锑陶瓷靶材的制备方法无效
| 申请号： | 201410005415.8 | 申请日： | 2014-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN103739282A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 沈强;杨萍;陈斐;罗国强;江灵荣;朱莉·沙农;张联盟 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | C04B35/457 | 分类号： | C04B35/457;C04B35/622 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 王守仁 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明微量元素复合掺杂改性氧化锡锑陶瓷靶材的制备方法是：先称取氧化锑质量百分含量为0.1～1.0%的ATO粉体，然后按ATO粉体总质量的0.5～1.0%分别称取氧化锰和氧化铜粉体作为复合掺杂改性剂；再将上述粉体与有机溶剂和混料球一起球磨，三者质量比=1：1：1～1：2：1，所得浆体放入烘箱低温烘烤至有机溶剂挥发完毕，然后研磨、过开口筛获得混合粉末；该混合粉末经模具中冷等静压成型后，采用无压烧结的方式将坯体在空气气氛下烧结，升温速率为0.5～5℃/分钟，烧结温度1200～1450℃，保温时间1～10小时即可。本发明获得改性ATO陶瓷靶材具有复合掺杂量较少、致密度高、常温电导率较高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微量元素 复合 掺杂 改性 氧化 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微量元素复合掺杂改性氧化锡锑陶瓷靶材的制备方法，其特征是先称取氧化锑质量百分含量为0.1～1.0%的ATO粉体，然后按ATO粉体总质量的0.5～1.0%分别称取氧化锰和氧化铜粉体作为复合掺杂改性剂；再将上述粉体与有机溶剂和混料球一起球磨，三者质量比=1：1：1～1：2：1，所得浆体放入烘箱低温烘烤至有机溶剂挥发完毕，然后研磨、过开口筛获得混合粉末；该混合粉末经模具中冷等静压成型后，采用无压烧结的方式将坯体在空气气氛下烧结，升温速率为0.5～5℃/分钟，烧结温度1200～1450℃，保温时间1～10小时，即得到一种改性ATO陶瓷靶材。
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