[其他]激光加工装置有效
申请号: | 201390000132.3 | 申请日: | 2013-04-22 |
公开(公告)号: | CN204430558U | 公开(公告)日: | 2015-07-01 |
发明(设计)人: | 伊藤健治;石塚智彦;泷川靖弘 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | B23K26/067 | 分类号: | B23K26/067;B23K26/08;B23K26/382 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 何立波;张天舒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在激光加工装置中,具有:掩模(3X),其对从激光振荡器(20)射出的激光(L1)的光束尺寸进行限制;工作台(8),其用于载置工件(7);聚光透镜(6),其对穿过掩模(3X)的激光(L1)进行聚光并向工作台(8)上的工件(7)照射;转印率变更透镜(5A),其对激光(L1)的转印率进行变更,并且配置为能够在掩模(3X)和聚光透镜(6)之间的光路上取出/放入;以及控制部(43),其对转印率变更透镜(5A)向光路上的取出/放入进行控制,并且通过调整聚光透镜(6)和工件(7)之间的距离,从而对激光(L1)在工件(7)上聚光的聚光位置进行控制。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】:
一种激光加工装置,其特征在于,具有:掩模,其对从激光振荡器射出的激光的光束尺寸进行限制;工作台,其用于载置被加工物;聚光透镜,其对穿过所述掩模的激光进行聚光并向所述工作台上的被加工物照射;转印率变更透镜,其对所述激光的转印率进行变更,并且配置为能够在所述掩模和所述聚光透镜之间的光路上取出/放入;以及控制部,其通过调整所述聚光透镜和所述被加工物之间的距离,从而对所述激光在所述被加工物上聚光的聚光位置进行控制。
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