[发明专利]光机械对准

摘要

本申请一般地描述了通过树脂将光发射元件附接到光学元件来制造光学设备的技术。在各个示例中描述了一种方法，设置基板，其中在基板中要安装光学元件的位置处具有通孔。液态树脂可以注入基板中的通孔中。此外，具有光发射部的光学元件可以安装到基板上，使得由于液态树脂的表面张力而使光发射部的中心与通孔的中心自对准。树脂可以固化以使光学元件固定到基板上。

主权项

一种用于制造光学设备的方法，包括：设置基板，其中在所述基板中要安装光学元件的位置上具有通孔，其中所述基板中的所述通孔是利用高纵横比微机电系统(MEMS)干法蚀刻工艺来形成的；将液态树脂注入所述基板中的所述通孔中；将包括光发射部的光学元件安装到所述基板上，使得由于所述液态树脂的表面张力而使所述光发射部的中心与所述通孔的中心自对准；以及固化所述树脂，使得所述光学元件固定到所述基板上，其中，设置所述基板包括调节所述基板中的所述通孔的侧表面的湿润性以调节所述树脂的与所述光学元件相对的表面的曲率。