[发明专利]液浸部件及曝光装置

摘要

液浸部件在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间。液浸部件具有：第1部件，其包含配置在曝光用光的光路周围的第1部分，在第1部分上设有能够供曝光用光通过的第1开口部、及配置在第1开口部的周围的至少一部分上且能够与物体的表面相对的第1液体供给部；和第2部件，其具有能够与物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于光路在第1部分的外侧相对于第1部件移动。

主权项

1.一种液浸部件，在液浸曝光装置中使用，能够在与射出曝光用光的光学部件的射出面相对的物体的表面上形成液浸空间，其特征在于，具有：第1部件，其包含配置在所述曝光用光的光路周围的第1部分，在所述第1部分上设有能够供所述曝光用光通过的第1开口部、及配置在所述第1开口部的周围的至少一部分上且能够与所述物体的表面相对的第1液体供给部；和第2部件，其具有能够与所述物体的表面相对的第1液体回收部，能够相对于所述光路在所述第1部分的外侧相对于所述第1部件移动，所述液浸空间的一部分形成于所述第2部件与所述物体之间，所述第1液体回收部回收所述第2部件与所述物体之间的液体的至少一部分。