[发明专利]光谱控制系统

摘要

本发明涉及一种控制照明的光谱属性的系统及方法。根据各种实施例，阻断包含经排除的照明光谱选集的照明的部分，同时沿照明路径引导包含经传输的照明光谱选集的照明的另一部分。在一些实施例中，利用光谱受控照明来执行光学计量以增强测量能力。例如，可根据与样品的经分析部分相关联的某些测量特性选择用以分析所述样品的不同部分，例如不同半导体层的照明的光谱属性。

主权项

1.一种用于控制照明的至少一个光谱属性的系统，其包括：一或多个色散元件，其沿色散路径安置，所述一或多个色散元件经配置以从至少一个照明源接收沿所述色散路径引导的照明的至少第一部分，且进一步经配置以使所述照明的所述第一部分色散为照明的第一多个经色散部分；至少一个光谱控制器，其经配置以从所述色散路径接收照明的所述第一多个经色散部分，进一步经配置以阻断照明的所述第一多个经色散部分的经排除选集，且进一步经配置以沿组合路径引导照明的所述第一多个经色散部分的经传输选集；一或多个组合元件，其是沿所述组合路径安置，所述一或多个组合元件经配置以将照明的所述第一多个经色散部分的所述经传输选集组合成沿照明路径引导的实质上同轴照明；第一多个二向色分光器，其经配置以沿相应路径将照明的部分从所述至少一个照明源引导到多个色散元件；第二多个二向色分光器，其经配置以将照明的经色散部分从所述多个色散元件引导到所述至少一个光谱控制器；第一多个二向色组合器，其经配置以沿相应路径将照明的部分从所述至少一个光谱控制器引导到多个组合元件；以及第二多个二向色组合器，其经配置以沿所述照明路径引导来自所述多个组合元件的照明的经组合部分。