[发明专利]图像取得装置以及图像取得装置的聚焦方法

摘要

图像取得装置(M)中，通过在第2光路(L2)上配置光程差生成构件(21)从而在第2摄像装置(20)上抑制了对焦点对准了入射到第1摄像装置(18)的光学图像之前的光学图像(前针)和焦点对准了入射到第1摄像装置(18)的光学图像之后的光学图像(后针)进行摄像的时候的光量，并且能够确保由第1摄像装置(18)进行摄像的时候的光量。另外，图像取得装置(M)中，通过变更摄像面(20a)上的第1摄像区域(22A)的位置以及第2摄像区域(22B)的位置中的至少一方从而能够容易地调整前针与后针之间的间隔。由此，能够高精度地检测试样(S)的焦点位置。

主权项

一种图像取得装置，其特征在于：具备：光源，朝着试样照射光；导光光学系统，包含将所述试样的光学图像向图像取得用的第1光路以及焦点控制用的第2光路分支的光分支单元；第1摄像单元，取得由向所述第1光路分支的第1光学图像形成的第1图像；第2摄像单元，取得由向所述第2光路分支的第2光学图像形成的第2图像；以及焦点控制单元，解析所述第2图像，并根据该解析结果控制由所述第1摄像单元进行的摄像的焦点位置，所述第2摄像单元具有设定有取得所述第2光学图像的一部分图像的第1摄像区域以及第2摄像区域的摄像面，在所述第2光路，配置有沿着所述摄像面的面内方向使连续的光程差产生于所述第2光学图像的光程差生成构件，还具备沿着所述面内方向控制所述摄像面上的所述第1摄像区域的位置以及所述第2摄像区域的位置中的至少一方的区域控制单元，所述区域控制单元以所述第1摄像区域与所述第2摄像区域之间的间隔改变的方式沿着所述面内方向变更所述第1摄像区域的位置以及第2摄像区域的位置中的任意一方。