[发明专利]用于切削工具的多层薄膜以及包含其的切削工具有效
| 申请号： | 201380068331.2 | 申请日： | 2013-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN104884668B | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 安承洙;朴帝勋;李成九;安鲜蓉 | 申请（专利权）人： | 韩国冶金株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 吕俊刚,刘久亮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于切削工具的多层薄膜，其中包括总共四个薄层的单元膜被堆叠至少两次，以通过控制四个薄层之间的弹性模量和晶格常数的周期来实现与现存的多层薄膜相比增强的物理性质。在用于切削工具的多层薄膜中，根据本发明，包括薄层A、薄层B、薄层C和薄层D并以此顺序堆叠的单元薄膜被堆叠至少两次，其中，薄膜之间的弹性模量(k)是kA、kC>kB、kD，或kB、kD>kC、kA，并且薄膜之间的晶格常数(L)是LA>LB、LD>LC或LC>LB、LD>LA。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 切削 工具 多层 薄膜 以及 包含 | ||
【主权项】：
一种用于切削工具的多层薄膜，其中，所述薄膜是通过各自以薄层A、B、C和D顺序地堆叠的单元薄膜被重复地堆叠两层或更多层而形成的，其中，所述薄层之间的弹性模量k满足关系kA、kC>kB、kD，或kB、kD>kC、kA，并且所述薄层之间的晶格参数L满足关系LA>LB、LD>LC或LC>LB、LD>LA，其中，所述薄层A为CrN，或者所述薄层A为CrSiN，且所述薄层B、C和D为AlCrN。
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