[发明专利]合成物、压印墨和压印方法在审
申请号: | 201380067330.6 | 申请日: | 2013-12-13 |
公开(公告)号: | CN104870576A | 公开(公告)日: | 2015-08-26 |
发明(设计)人: | M.A.维斯楚伦;R.范布拉克 | 申请(专利权)人: | 皇家飞利浦有限公司 |
主分类号: | C09D11/02 | 分类号: | C09D11/02;C08L83/04;C08L83/06;G03F7/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 孙之刚;景军平 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: |
所公开的是一种用于形成用于压印光刻应用的压印墨的基于硅烷的合成物,其中合成物中的硅烷的交联通过包括化学式3的化合物来压制:化学式3: |
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搜索关键词: | 合成物 压印 方法 | ||
【主权项】:
一种用于形成压印墨的合成物,所述合成物包括:‑ 以下的经溶解的缩合产物: 化学式1的第一硅烷化合物和化学式2的第二硅烷化合物中的至少一个;以及 化学式3的化合物:化学式1
化学式2
;以及化学式3
其中R1‑R9各自选自包括C1‑C6线性或支化烷基和苯基的组,并且其中n为具有至少为2的值的正整数;合成物还包括:使得合成物具有在3‑5的范围中的pH的质子酸;以及包括伯醇或仲醇和水的有机溶剂系统。
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