[发明专利]用于蒸发介电材料的等离子体增强沉积装置、沉积设备以及其操作方法

摘要

描述用于蒸发介电材料至基板上的沉积装置。沉积装置包括：蒸汽分配喷头；保持器，所述保持器用于提供介电材料于蒸汽分配喷头中，其中保持器具有进给单元，用于进给介电材料至蒸汽分配喷头；能源，所述能源配置成用于熔化及蒸发蒸汽分配喷头中的介电材料或使蒸汽分配喷头中的介电材料升华，其中蒸汽分配喷头具有一或更多出口，用于将蒸发的介电材料导向基板，及特别地，其中能源发射电子或光子，其中电子或光子熔化及蒸发介电材料或使介电材料升华。装置进一步包括等离子体源，等离子体源配置成用于在蒸汽分配喷头与基板之间提供等离子体。

主权项

一种用于蒸发介电材料的沉积装置，所述介电材料特别是含锂介电材料，所述装置包含：蒸汽分配喷头；保持器，所述保持器用于提供所述介电材料于所述蒸汽分配喷头中，其中所述保持器具有进给单元，所述进给单元用于进给所述介电材料至所述蒸汽分配喷头中；能源，所述能源配置成用于熔化及蒸发所述蒸汽分配喷头中的所述介电材料，或使所述蒸汽分配喷头中的所述介电材料升华，其中所述蒸汽分配喷头具有一或更多出口，所述一或更多出口用于将蒸发的所述介电材料导向基板；且特定地，其中所述能源发射电子或光子，其中所述电子或所述光子熔化及蒸发所述介电材料或使所述介电材料升华；及等离子体源，所述等离子体源配置成用于在所述蒸汽分配喷头与所述基板之间提供等离子体。