[发明专利]缺陷检查方法及缺陷检查装置有效

专利信息
申请号: 201380056483.0 申请日: 2013-09-27
公开(公告)号: CN104755920B 公开(公告)日: 2016-10-12
发明(设计)人: 池田佳士郎;田坂隆弘;饭星允规 申请(专利权)人: 新日铁住金株式会社
主分类号: G01N29/04 分类号: G01N29/04;G01N29/30
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 徐殿军
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 缺陷检查方法具有:第1工序,对在电磁超声波探头中相互相邻且以一部分重合的方式排列的多个线圈赋予高频信号,使检查对象物产生超声波振动;第2工序,将上述超声波振动的B回波用上述多个线圈分别接收;第3工序,将上述超声波振动的F回波用上述多个线圈分别接收;第4工序,基于上述多个线圈的工作状态修正由上述多个线圈分别接收到的上述B回波的信号强度;第5工序,对上述多个线圈分别计算上述F回波的信号强度与修正后的上述B回波的信号强度的比率,基于该计算结果评价上述检查对象物的内部缺陷。
搜索关键词: 缺陷 检查 方法 装置
【主权项】:
一种缺陷检查方法,其特征在于,具有:第1工序,对在电磁超声波探头中相互相邻且以一部分重合的方式排列的多个线圈赋予高频信号,使检查对象物产生超声波振动;第2工序,将上述超声波振动的B回波用上述多个线圈分别接收;第3工序,将上述超声波振动的F回波用上述多个线圈分别接收;第4工序,基于上述多个线圈的工作状态修正由上述多个线圈分别接收到的上述B回波的信号强度;以及第5工序,对上述多个线圈分别计算上述F回波的信号强度与修正后的上述B回波的信号强度的比率,基于该计算结果评价上述检查对象物的内部缺陷。
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