[发明专利]感光树脂组合物、其抗蚀剂层压体和固化产物

摘要

本发明的目的是提供：感光环氧树脂组合物和/或所述树脂组合物的抗蚀剂层压体，其使得可以利用光刻法形成具有垂直侧壁形状和高分辨率、低应力和耐湿热性的图像；以及所述树脂组合物和所述抗蚀剂层压体的固化产物。本发明是包含如下的感光树脂组合物：(A)环氧树脂；(B)具有特定结构的多元酚化合物；(C)光阳离子聚合引发剂；和(D)含环氧基的硅烷化合物。环氧树脂(A)包含：通过式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇反应得到的环氧树脂(A)；和式(2)表示的环氧树脂(b)。

主权项

1.一种感光树脂组合物，其包含：环氧树脂(A)，多元酚化合物(B)，阳离子光聚合引发剂(C)，和含环氧基的硅烷化合物(D)；其中环氧树脂(A)包含从下式(1)表示的苯酚衍生物与表卤代醇反应得到的环氧树脂(a)：和下式(2)表示的环氧树脂(b)：其中m是平均值，表示在2至30范围内的实数，R₁和R₂各自独立地表示氢原子、具有1至4个碳原子的烷基、或三氟甲基，每个X独立地表示氢原子或缩水甘油基，并且存在的多个X中的至少一个是缩水甘油基；和多元酚化合物(B)包含一种或多种选自下式(3)至(6)表示的苯酚化合物的化合物：其中p是平均值，表示在1至10范围内的实数，并且每个R独立地表示氢原子或具有1至4个碳原子的烷基；其中q是平均值，表示在1至10范围内的实数；其中z是平均值，表示在1至10范围内的实数；其中y是平均值，表示在1至10范围内的实数，并且R₈和R₉各自独立地表示氢原子或具有1至4个碳原子的烷基，其中相对于所述环氧树脂(a)的质量，所述环氧树脂(b)的用量是2质量％～4900质量％；相对于所述环氧树脂(A)的总质量，所述多元酚化合物(B)的掺合比是1质量％～40质量％；相对于所述环氧树脂(A)和所述多元酚化合物(B)的总质量，所述阳离子光聚合引发剂(C)的掺合比是0.1质量％～15质量％；相对于所述环氧树脂(A)、所述多元酚化合物(B)和所述阳离子光聚合引发剂(C)的总质量，所述含环氧基的硅烷化合物(D)的掺合比是1质量％～15质量％。