[发明专利]基于纳米线平台的宽动态范围流体传感器有效
| 申请号： | 201380053956.1 | 申请日： | 2013-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN104737009B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | J·H·克鲁特维杰克;M·马尔德 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414;G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰艾恩*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于检测流体样本中的物质的浓度的器件(100)，该器件包括：衬底(102)；布置在衬底(102)上的绝缘层(104)；布置在绝缘层(104)上的多根单独电可访问的半导体纳米线(106、108、110)，多根纳米线中的每一根纳米线由绝缘材料(202、204、206)覆盖并且被布置用于通过纳米线的电特性来感测物质；以及用于提供与多根纳米线中的每根纳米线接触的流体样本的样本隔间(118)；其中对于多根纳米线(106、108、110)中的每根纳米线，选择截面尺寸、绝缘体厚度和绝缘材料类型中的至少一项使得纳米线中的每根纳米线具有不同的检测范围，并且使得器件的动态范围比单独纳米线中的每根纳米线的动态范围更高。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米线 绝缘层 绝缘材料 流体样本 衬底 绝缘体 半导体纳米线 流体传感器 电特性 可访问 宽动态 检测 感测 隔间 样本 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种用于定量检测流体样本中的物质的器件(100)，所述器件包括：衬底(102)；电绝缘层(104)，布置在所述衬底(102)上；能够单独访问的多根纳米线(106、108、110)，形成在所述电绝缘层(104)上，所述多根纳米线中的每根纳米线由绝缘材料(202、204、206)覆盖，并且其中所述多根纳米线被布置用于通过对所述多根纳米线中的纳米线的电特征的测量来检测在所述流体样本中的所述物质的存在，所述纳米线中的每根纳米线具有长度、宽度和厚度；样本隔间(118)，用于容纳所述流体样本，其中所述样本隔间被布置使得所述样本隔间覆盖所述多根纳米线中的每根纳米线的至少一部分，其特征在于：所述多根纳米线中的每根对应纳米线的所述长度、所述宽度和所述厚度被不同地设定尺寸为形成对于所述物质的多个不同检测范围。
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