[发明专利]硬质皮膜被覆工具及其制造方法有效
申请号: | 201380051064.8 | 申请日: | 2013-09-30 |
公开(公告)号: | CN104703734A | 公开(公告)日: | 2015-06-10 |
发明(设计)人: | 福永有三;小关秀峰;久保田和幸;井上谦一 | 申请(专利权)人: | 日立工具股份有限公司 |
主分类号: | B23B27/14 | 分类号: | B23B27/14;C23C16/36 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 葛凡 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种在由WC基超硬合金构成的基体上,直接通过化学气相沉积法形成碳氮化钛层而成的硬质皮膜被覆工具,其中,碳氮化钛层具有含有74~81质量%的钛、13~16质量%的碳和6~10质量%的氮的组成,碳氮化钛层具有由具有0.01~0.22μm的平均横截面直径的柱状晶粒构成的组织,从基体向碳氮化钛层内的W的扩散层的平均厚度为30~200nm,碳氮化钛层的(422)面的X射线衍射峰位置2θ处于122.7~123.7°的范围内。 | ||
搜索关键词: | 硬质 皮膜 被覆 工具 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种硬质皮膜被覆工具,其特征在于,其是在由WC基超硬合金构成的基体上,直接通过化学气相沉积法形成由碳氮化钛层构成的硬质皮膜而成的,(a)所述碳氮化钛层具有含有74~81质量%的钛、13~16质量%的碳和6~10质量%的氮的组成,(b)所述碳氮化钛层具有由具有0.01~0.22μm的平均横截面直径的柱状晶粒构成的柱状结晶组织,(c)从所述基体向所述碳氮化钛层内的W的扩散层的平均厚度处于30~200nm的范围内,并且(d)所述碳氮化钛层的(422)面的X射线衍射峰位置2θ处于122.7~123.7°的范围内。
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