[发明专利]用于压力式质量流控制器自我校验的方法和设备

摘要

一种质量流控制系统，当对到过程的流体流控制时可针对其精确度自我校验。所述系统包括：用于作为控制信号的函数来控制通过系统的流体流的控制阀；用于作为通过系统的流体的测得流量和目标流量设定值的函数来产生控制信号的控制器；压力传感器，用于测量和控制在测量和校验流率中使用的流体压力；以及流体源，其用于提供用于在控制过程的步骤之间的任何时候校验系统精确度的已知体积的流体。

主权项

1.一种自我校验的质量流控制系统，所述质量流控制系统用于当对到过程的流体流控制时的实时精确度校验，所述系统包括：入口，其接收处于压力下的流体；出口，其输送所述处于压力下的流体；导管，流体在压力下流动通过所述导管；控制阀，其对所述导管内从所述入口至所述出口的流体流进行控制；连接至所述导管的贮存器，其存储已知体积的流体；在所述贮存器与所述出口之间的流限制装置，其可控地限制所述贮存器与所述出口之间的流体流；压力传感器，其耦联到所述导管并且感测所述导管内流体的压力，提供表示所述压力的信号作为输出；以及产生控制信号的控制器，所述控制信号作为通过系统的流体的测得的流量和流量设定值的函数，并且其中所述控制器控制所述控制阀的位置且使用来自单个的所述压力传感器的所述信号用于所述质量流控制系统的两种不同操作；(i)用于过程操作的对所述控制阀的流控制，其基于来自所述压力传感器的信号以便使得通过所述导管的流体流量与所述流量设定值相等；以及(ii)通过基于来自所述压力传感器的信号来确定所述贮存器内的压力衰变率而对流体流控制的精确度进行流校验。