[发明专利]带电粒子线装置用部件、带电粒子线装置以及隔膜部件无效
| 申请号： | 201380043744.5 | 申请日： | 2013-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN104584180A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 佐久间宪之;大南佑介 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/16;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供带电粒子线装置用部件、带电粒子线装置以及隔膜部件。带电粒子线装置(1c)所使用的带电粒子线装置用部件(56)具有安装于框体(3c)的框体(55)以及设置于框体(55)的隔膜元件(18a)。在隔膜元件(18a)形成有隔膜(19)，在被框体(3c)与框体(55)划分的真空室(4a)的内部的压力相比外部的压力相被减压了的状态下，该隔膜(19)对真空室(4a)的内部与外部气密地进行隔离并且供带电粒子线透射。另外，在隔膜元件(18a)以位于比隔膜(19)更靠试样工作台(22)侧的方式形成有防止试样(12)与隔膜(19)接触的缓冲膜(33)。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 线装 部件 以及 隔膜 | ||
【主权项】：
一种带电粒子线装置用部件，其使用于带电粒子线装置，该带电粒子线装置将通过了被第一框体与第二框体划分并设置为气密的第一室的内部的带电粒子线以扫描的方式照射至在所述第一室的外部被保持的试样，所述带电粒子线装置用部件的特征在于，具有：所述第二框体，其安装于所述第一框体；隔膜部件，其设置于所述第二框体，包括第一膜部，在将所述第二框体安装于所述第一框体时，在通过对所述第一室进行排气的排气部将所述第一室的内部的压力相比所述第一室的外部的压力减压了的状态下，该第一膜部对所述第一室的内部与所述第一室的外部气密地进行隔离，并且使通过了所述第一室的内部的所述带电粒子线透射；保持部，其在将所述第二框体安装于所述第一框体时，在所述第一室的外部对所述试样进行保持；以及驱动部，其对所述隔膜部件或者所述保持部进行驱动，从而对保持于所述保持部的所述试样与所述隔膜部件的距离进行调整，所述隔膜部件包括形成为在将所述第二框体安装于所述第一框体时，位于比所述第一膜部更靠所述保持部一侧的第二膜部，所述第二膜部防止保持于所述保持部的所述试样与所述第一膜部接触。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社日立高新技术;，未经株式会社日立高新技术;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380043744.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带电粒子线装置及试样观察方法
- 下一篇：电感布局和压控振荡器（VCO）系统
