[发明专利]具备清洗功能的储料器、储料器单元以及洁净气体的供给方法

摘要

本发明涉及具备清洗功能的储料器、储料器单元以及向储料器内的容器供给洁净气体的方法。本发明提供具备清洗功能的区域与不具备清洗功能的区域能够共存并且能够容易地将不具备清洗功能的区域变更为具备清洗功能的区域的储料器。在能够沿上下方向或者水平方向将不具备洁净气体的供给用喷嘴的货架安装有多个的储料器的框架中，安装有储料器单元的基体。储料器单元具备沿基体设置的洁净气体的供给用的管、以及被安装于基体并且沿上下方向或者水平方向排列的多个带清洗功能货架，货架自如地支承容器，并且具备从管将洁净气体供给至容器的喷嘴。

主权项

一种具有清洗功能的储料器，其特征在于，其具备框架以及储料器单元，其中，所述框架能够将不具备洁净气体的供给用喷嘴的货架，沿上下方向或者水平方向安装有多个，所述框架具备容器的收容空间，并且在所述空间的后端具备至少一对第一柱，所述储料器单元具备：基体，其具有柱或者梁，并且被安装于所述框架，并且具备容器的收容空间后端的至少一对第二柱；沿所述基体被设置的洁净气体的供给用的管；以及多个带清洗功能货架，所述带清洗功能货架被安装于所述基体，沿上下方向或者水平方向排列，自如地支承容器，并且具备从所述管将洁净气体供给至容器的喷嘴、从所述管将洁净气体向所述喷嘴供给的分支管路、以及控制分支管路中的洁净气体的流量的阀，所述管与所述阀从容器的收容空间前方观察，位于比所述第二柱的前端靠近后侧，并且被设置于比所述第一柱的后端靠近前侧，所述第二柱的间隔比所述第一柱的间隔窄，并且从容器的收容空间前方观察，所述第二柱位于所述第一柱的斜前方，并被安装于所述第一柱。