[发明专利]可光致固化的组合物在审
| 申请号： | 201380041871.1 | 申请日： | 2013-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN104737075A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | D·C·法尔;裘再明 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/004;H05K3/34;B23K35/24 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈长会;马慧 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种包含光致抗蚀剂组分和全氟聚醚硅烷的可光致固化的组合物。该组合物能够使光掩模更容易地从光致抗蚀剂剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 可光致 固化 组合 | ||
【主权项】：
一种可光致固化的组合物，所述可光致固化的组合物包含：a)光致抗蚀剂组分，和b)由下式表示的全氟聚醚硅烷：(RPFPE‑X1‑CO‑NH)x‑R1‑(NH‑CO‑X2‑R甲硅烷基)y，其中RPFPE表示全氟聚醚基团，X1和X2独立地为‑O‑、‑S‑或‑NR2‑，其中R2为H或C1‑C4烷基，R1为多异氰酸酯的残基，R甲硅烷基为包含硅烷基团的部分，下标x和y各自独立地为1至6，以及c)光引发剂。
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