[发明专利]模具的制造方法

摘要

蛾眼用模具(100)的制造方法是在表面具有反转的蛾眼结构的模具的制造方法，包含准备模具基材(10)的工序(a)，包含工序(a1)，准备金属基材(72m)，金属基材(72m)具有使可见光漫反射的表面；工序(a2)，在金属基材(72m)的表面上利用阴离子电镀法形成有机绝缘层(13)；以及工序(a3)，在有机绝缘层(13)上形成铝合金层(18)；工序(b)，对铝合金层(18)局部地进行阳极氧化，由此形成具有多个微细的凹部(22)的多孔氧化铝层(20)；工序(c)，使多孔氧化铝层(20)与蚀刻液接触，由此使多个微细的凹部(22)扩大；以及工序(d)，进一步进行阳极氧化，由此使多个微细的凹部(22)生长。

主权项

一种模具的制造方法，其中，上述模具在表面具有反转的蛾眼结构，上述反转的蛾眼结构具有从表面的法线方向观看时的二维大小为10nm以上且不足500nm的多个凹部，上述模具的制造方法的特征在于，包含：准备模具基材的工序(a)，包含：工序(a1)，准备金属基材，上述金属基材具有使可见光漫反射的表面，上述金属基材的上述表面相对于以8°的入射角入射到上述表面的波长为550nm的光的漫反射率为10％以上且45％以下；工序(a2)，在上述金属基材的上述表面上利用阴离子电镀法形成有机绝缘层；以及工序(a3)，在上述有机绝缘层上形成铝合金层；工序(b)，对上述铝合金层局部地进行阳极氧化，由此形成具有多个微细的凹部的多孔氧化铝层；工序(c)，在上述工序(b)后使上述多孔氧化铝层与蚀刻液接触，由此使上述多孔氧化铝层的上述多个微细的凹部扩大；以及工序(d)，在上述工序(c)后进一步进行阳极氧化，由此使上述多个微细的凹部生长。